特種氣體 specialily gas:用于各種電子產品生產的薄膜氣體、摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、刻蝕氣體及工藝設備所使用的氣體。通常包括可燃性氣體、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體、惰性氣體等。在半導體制造過程中涉及的材料眾多,在半導體集成電路的生產過程中,從芯片生長到后器件的封裝,幾乎每一步、每一個環(huán)節(jié)都離不開電子特種氣體,因此電子特種氣體被稱為半導體材料的“糧食”和“源”。對特氣的危害性進行分析,通過本質安全設計,消除安全隱患。根據(jù)行業(yè)規(guī)范,對特氣房選址、安全間距、防火分區(qū)、房間通風、電氣防爆等進行評估。管道設計應進行保壓和氦測漏,確保系統(tǒng)密閉性。






目前,國內共有特種氣體生產企業(yè)達150余家,多數(shù)企業(yè)生產規(guī)模較小。跨國企業(yè)已經在國內投資設立了眾多合資或獨資的氣體公司,占國內銷售氣體產品市場份額的70%左右。硅片的蝕刻氣體(特種氣體)主要是氟基氣體,包括四氟化碳、四氟化碳/氧氣、六氟化硫、六氟乙1烷/氧氣、三氟化氮等。有氣體倉庫貯存。氣瓶倉庫應通風干燥、清潔, 避免陽光直射, 氣瓶庫應清楚明“氣瓶貯存”字樣, 顯示適當?shù)奈kU標記(例如、、有毒等) 。

特種氣體的儲存注意事項:為防止高壓容器跌倒、滾落、損壞、閥門泄漏等造成安全隱患,存放場地需平坦,操作需謹慎、輕柔;并用鏈條、繩索等將其固定在靠墻等堅固位置。特種氣體的重要性:正是因為電子氣體在集成電路制造中的使用量大,應用范圍廣的特點。所以電子氣體直接決定了芯片制造的良率 與可靠性等等。所以電子氣體也被譽為集成電路制造中的“血液”。特種氣體主要包括高純氣體、電子氣體、標準氣體三大類,電子特種氣體(簡稱電子特氣)是特種氣體的 一個重要分支,是超大規(guī)模集成電路(IC)、平面顯示器件(LCD、LED、OLED)、太陽能電池等電子工業(yè)生產不 可或缺的原材料。

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